1月6日，我院王勇刚科技服务团队深入湖南众源科技有限公司进行横向课题洽谈，公司总经理郑启发出席对接活动。项目团队从工艺、材料、检测、控制、电源等方面对待开发产品进行了介绍，双方就离子化率检测方法、功率自适应匹配、高频大功率电源设计等关键技术环节进行了充分的讨论。
据悉，该款产品是半导体工业装备的关键部件，国产化率较低，长期依赖国外进口，项目涉及特种气体及工艺、关键器件国产化、高频大功率电源自匹配等关键技术难点，公司计划将该产品列为年度重点研发项目，采用全国产化方案，实现完全自主知识产品。（王勇刚文/图 审稿人/一审：刘永晟 二审：何西 三审：洪俊）
